第二百一十二章 请先生赴死(3/8)

和林本坚一起共同攻坚浸入式光刻技术。”

    程进闻言摇了摇头，“没用的，浸入式通过水滴折射确实可以跳过157n，直接做到134n波长，而后就会被65n的最高生产分辨率给卡住，到时候怎么办？

    小卿，光刻是要遵循瑞利公式的，λ为光源波长、na为数值孔径、k为光刻工艺系数，三者共同决定投影式光刻机分辨率cd。

    光刻机的分辨率与光源波长成正比，想要制造出更小的尺寸，就需要缩短光源的波长，这也是光刻机世代演变的核心。

    所以，你不管怎么折射，最终还是要通过光源的波长来解决问题。”

    熟知后事的卿云很清楚，程进说的是对的。

    浸入式、浸没式、浸润式，其光源都是193n激光器，随后是根据瑞利公式的另一个参数：孔径，来实现精度的提高。

    再之后，便是二次曝光技术，同样是基于193n的光源。

    而最终，在duv后，asl还是走了波长135n的euv路径。

    但那是十来年后的事情了。

    彼时的asl已经一家独大，它的领先优势可以随意切换赛道，但此时的光刻机市场却并非如此。

    此时还是群雄混战时期，谁先突破，便是赢家通吃。

    asl与尼康佳能的光刻机之战，其实是一个弱者在走投无路之下，抱着‘光脚的不怕穿鞋的’的赌命心态进行绝地突围的故事。

    asl能赢，并不在于林本坚的技术有多先进，而是在于林本坚给出了一个商业友好性极强的工艺方案。

    在asl推出浸入式193n产品的半年后，尼康也宣布自己的157n产品以及epl产品样机完成。

    然而，林本坚的浸入式属于小改进大效果，产品成熟度非常高，所以几乎没有人去订尼康的新品。

    而半导体产品就是这样的特点，市场说了算。

    赢得了市场，赢得了迭代的机会。

    他想了想，还是耐心说道，“老师，您知道，我是一个商人。所以我习惯用商业的角度来看待问题。”

    拿起矿泉水抿了一口，卿云继续说着，“您说，从投入…或者说对当前工艺的改进角度看，