第53章 这是成功了吗？(2/3)

越快，效率也越高，飞速完成每一次对准矫正，和扫描曝光。

    为了得到更高的效率，陆隐准备了两台同时运转的工件台，一台做曝光扫描，一台做对准矫正。

    但光是准备这些还不够，一套完整的光刻流程还包括曝光前硅片涂胶和烘焙，以及曝光后的显影冲洗，所以陆隐还准备了涂胶显影的轨道机和光刻机联机作业。

    除此之外，还需要一台光学检测设备，通过照射硅片表面，收集反射光和衍射光，来分析套刻误差。

    以及一台用来做尺寸测量和缺陷检测机器，外国现在用来测量的机器大多都是ep5和escan600这两种，其他原理是用电子束扫描成像进行量测检测，但陆隐认为这两种机器效率都不高，直接采用了escan1100，用多重电子束取代单电子束，增加扫描面积，加快检测速度。

    这些量测的数据不光是用来做事后的检测，还会被收集起来反馈到光刻机上，通过机身系统的算法，来及时调整照明参数，镜片位置，工件台的调焦调平情况，来改善后续的光刻质量。

    可以说，这里的每一台机器都是相辅相成，缺一不可。

    随着陆隐按下电源键，巨大的机器发出一阵嗡鸣。

    正式开始试验了！

    大厅中，所有人不约而同站了起来，一颗心完全提到了嗓子眼儿，手心也完全被汗水浸湿，心中既紧张又期待。

    赵光誉更是紧张得快要将手中的茶杯捏碎。

    这是光刻机第一次试验，时间不会很长，只要在半小时之内，机器没有发出警报，就算成功了！

    但这短短的半小时，赵光誉却觉得像是过去了几年时间，每一分每一秒都十分煎熬。

    余光看到监控设备中的主控制室，赵光誉不禁叹了口气，看来有人比自己还要紧张。

    主控制室中，曾泉手中拿着笔记本，随时准备查看数据，但他是眼睛却紧紧黏在了那扇巨大的落地窗上。

    他握紧了手中的笔，力道之大，几乎要将笔捏碎，明明是北风呼啸的寒冷天气，他却出了一头汗水。

    “曾老，不用担心，相信陆工，肯定行的！”

    陈云走了过来，边观察电脑上的数据边安慰曾泉。