第二百四十四章 举国之力的产物(2/4)

    “但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”

    “这加工更难！”

    曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这duv干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”

    “这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”

    “而我们南光之前在生产i-le光刻机镜片以及krf光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”

    “原有的这些技术用来加工duv光刻机所需要的镜片还不够！”

    “而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”

    “为了解决这一问题，我们的研发团队一边现有技术进行研发，一边开发新技术，其中的一项新技术得到了迅速发展，这就是离子束抛光技术。”

    说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来：

    “这项技术虽然也很难研发，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”

    “利用该技术我们可以轻易的加工出来满足duv干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来duv浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”

    duv干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是arf光源，但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。

    因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。

    曹星辰继续说着：“甚至在这项技术上继续耕耘下去，未来是能够搞出来精度更高，可用于euv光刻机所需要的镜片的！”

    一代代光科技的技术升级，除了光源系统不断升级进步外，还需要其他诸多子系统的配合，而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。

    以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。

    当然，其他方面，比如机台对准等也不能差就是了。

    徐申